Wraz z rozwojem chińskiego przemysłu półprzewodników, rozwój kluczowych komponentów sprzętu procesowego stał się krytyczną przeszkodą w rozwoju sprzętu. W miarę nasilania się zapotrzebowania na lokalizację technologii półprzewodników na rynku krajowym, coraz więcej technologii wąskich gardeł w branży półprzewodników zostanie przezwyciężonych. Bazując na wieloletnim doświadczeniu w branży półprzewodników, nasza firma opracowała wysokoobrotowy-wałek drążony-serwomotor do adsorpcji płytek w sprzęcie do powlekania, wywoływania i czyszczenia półprzewodników. Silnik ten charakteryzuje się wysokim przyspieszeniem, szerokim zakresem prędkości i wysoką responsywnością i jest powszechnie chwalony przez klientów w branży.
Zastosowania serwomotoru z-wałem drążonym:
Sprzęt do naświetlania i wywoływania (powlekania, wywoływania): Główny sprzęt do procesów fotolitografii, kontrolowania powlekania, naświetlania i wywoływania.
Sprzęt do czyszczenia, powlekania, wywoływania i usuwania folii.
Nadaje się do fizycznego czyszczenia z płukaniem, czyszczenia cząstek i procesów natryskiwania.
Dane techniczne i obszary zastosowań serwomotoru z wałem drążonym:
750 W/1000 W – 5000, 6000 obr./min
Obszary zastosowań (-modele z najwyższej półki):
Sprzęt półprzewodnikowy 8-calowy i 12-calowy.
Procesy takie jak powlekanie, wywoływanie, czyszczenie i trawienie.
Maksymalne przyspieszenie może osiągnąć chwilowe przyspieszenie 50000 R/S².
Specjalna konstrukcja końcówki wału zapewnia najniższy współczynnik bicia obciążenia końcówki wału.
